产品范围;
美国SMI微压传感器、SMI硅低压传感器、SMI、SMI硅压力传感器、SMI芯片
品牌介绍：
Silicon Microstructures Incorporatec公司简称SMI，专业生产各种硅微结构压力传感器，产品广泛用于汽车制造、医疗设备和工业生产。SMI不仅设计、生产各类微压传感器，并且提供集成化传感器和基于MEMS的传感器系统代工服务。作为高性能硅压力传感器和加速计的专业生产厂家，SMI 成立于1991年。起初公司专业生产硅低压传感器，该产品精度至今仍为同类产品的20倍以上，如今 SMI 已拥有众多系列的硅微结构传感器，为各类OEM 客户提供质优价廉的产品。2001年4月该公司被专门生产汽车用ASIC的Elmos半导体公司收购。通过集成 Elmos 的ASIC技术和SMI的6 英寸晶圆生产工艺，推出高性能、系统化、低价位的新 代完整片上系统微结构传感器。2002年8月SMI 收购了 IC Sensors 的晶圆部，03年SMI设计出新型6英寸晶圆生产设备，该设备拥有 进的深度离子刻蚀(DRIE)和等离子焊接能力。
主要型号：
51系列、53系列、54系列、55系列、56系列
5102、5103、5106、5108、5112、SM5103、SM5106、SM5108、SM5112、SM53、SM54、SM5350、SM5450、SM5501、SM5502、SM5551、SM5552、SM5611、SM5651、SM5310、SM5410、SM5852、SM5812、SM5822
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