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纳米超气浮运动大理石平台

产品/服务：
品 牌： 智德
有效期至： 长期有效
最后更新： 2020-09-22 12:00
单价：
面议
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1 套
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公司基本资料信息






  • 详细说明
  • 规格参数
 纳米超气浮运动大理石平台


气浮平台特征：
双驱五轴运动
采用激光干涉仪做位置反馈。定位精度与重复定位精度纳米
大速度1000mm/s
大加速度：4G
大负载：50KG
纳米 超精密气浮运动平台，可实现XY同步运动。
采用激光干涉仪作为位置反馈，实现纳米 定位精度与重复定位精度。

气浮平台应用：
满足高速、高加速、高精度产品的定制需求。
适用于科研、实验室、激光加工、晶圆检测、晶圆划片、等半导体行业

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