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高精密气浮平台空气轴承大理石运动系统

产品/服务：
品 牌： 智德
有效期至： 长期有效
最后更新： 2024-12-09 22:10
单价：
面议
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1 套
供货总量：
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(发货期限：自买家付款之日起 3 天内发货)
公司基本资料信息






  • 详细说明
  • 规格参数
 超精密气浮平台 特性

       超高精密：分辨率10nm,重复精度50nm,定位精度：100nm
       超稳定性：花岗石机台，气浮导轨，直线电机驱动，匀速段速度波动低于0.05%
       高动态性：高加速度，高响应，静音平稳运行，同时保持长期优越的稳定性

  超精密气浮平台 应用

        半导体制造、激光成像、平板显示器制造、激光切割、精密测量等高精度定位的场合
 

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