英国CRESSINGTON是业内 的电镜配套高性能镀膜仪方案供应商也是此类配套方案的 驱者,自从上世纪六十年代开始,伴随着商业扫描电镜的普及,CRESSINGTON的配套镀膜设备也 并研发和配套使用,并获得科研工作者 致好评。经过近六十年发展,英国CRESSINGTON依然只专注于显微镜配套镀膜产品的设计研发和业内性能市场 地位,现阶段已有超过六千客户群,也是配套高端扫描电镜的 选镀膜仪品牌。其专利的冷态溅射镀膜技术不但可以获得高质量膜层,也解决了长久以来困扰用户的热损伤和热变形问题,而其另 专利溅射电流回路设计也保证了真正均匀 致的镀膜。
产品范围:
英国CRESSINGTON离子溅射仪、CRESSINGTON镀碳仪、CRESSINGTON真空镀碳仪、CRESSINGTON、CRESSINGTON镀膜仪、CRESSINGTON镀金仪、CRESSINGTON溅射镀膜机
主要型号:
CFE-60、MTM-10、MTM-20、Sputter Coater 108auto、Sputter Coater 108auto/SE、Sputter Coater 108
Cressington 108+108C高性能镀金镀碳仪简介:
Cressington 108+108C 全自动镀金镀碳联用仪是 进高质量的镀膜仪系统 ,在保证高性能镀膜同时,不会引起镀金与镀碳的相互污染,提高仪器使用效率以及镀膜精度。
优势说明:
●自动的换气与泄气功能,可以得到 致的膜厚,和 佳的导电喷镀效果。
●通过高效低压直流磁控头进行冷态精细的喷镀过程,避免样品表面受损。
●操作容易快捷,可全自动或手动进行喷镀操作,控制的参数包括自动放气以及氩气换气控制。
●在自动模式下,可通过两种方式进行控制镀膜过程。可通过数字显示器控制得到可重现的喷镀效果。
●数字化的喷镀电流控制不受样品室内氩气压力影响,可得到 致的镀膜速率和 佳的镀膜效果。
●独特的受反馈控制的碳棒蒸发系统可以在膜厚大约20nm左右进行多次蒸发,无须切削或调整碳棒形状。
●108C Auto中使用的高纯碳棒可以在高倍条件下得到高质量的镀膜效果。该镀膜系统结构紧凑,容易操作,抽真空周期短。选件MTM-10高分辨膜厚监控仪可以精确地得到所需的碳膜厚度。
●使用新型的蒸发装置:电流和电压通过磁控头的传感线监控,蒸发源作为反馈回路中的 部分被控制。该蒸发装置使常规的碳棒具有优良的稳定性和重现性。功率消耗低,碳棒具有优异的重新蒸镀特性。蒸发源可以通过脉冲或连续的方式操作。
技术规格:
样品仓尺寸: 120 x 120mm(高) (4.75 x 4.75"),高强度不锈钢结构
样品台:可放置12个标准SEM样品座,高度可在 60mm内调节
溅镀材料:Bradley 型高纯度碳棒 (6.15mm, [1/4"]), Au/Pt
溅镀优点:基于微处理器反馈控制,远程电流/电压感应;提供真空安全联锁装置, 大180A,配有过流保护
溅射控制:微处理器控制,安全互锁,可调, 大电流40mA,程序化数字控制
溅射头:低电压平面磁控管,靶材更换快速,环绕暗区护罩
模拟计量:真空 Atm - 0.01mb 电流: 0 - 200A
厚度监测器: MTM-10高精度厚度监测器(选配)
控制方式:自动气体换气和泄气功能,自动处理排序,带有“暂停”控制的数字定时器(0-300s),自动放气
电源:200-240 VAC, 50/60Hz
功率:1000VA (包括镀碳机和真空系统)